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潔凈實驗室氣流和凈化系統以及管控項目

發布時間:2021-01-27 1112次瀏覽

潔凈實驗室是一個全密閉的環境,通過空調送、回風系統的初、中、高效過濾器,使室內環境空氣不斷循環過濾,以保證空氣懸浮粒子受控到一定濃度。潔凈實驗室最主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中檢測、科研。所以潔凈實驗室通常也叫超凈實驗室,潔凈實驗室,凈化

潔凈實驗室是一個全密閉的環境,通過空調送、回風系統的初、中、高效過濾器,使室內環境空氣不斷循環過濾,以保證空氣懸浮粒子受控到一定濃度。潔凈實驗室最主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中檢測、科研。所以潔凈實驗室通常也叫超凈實驗室,潔凈實驗室,凈化實驗室等。

潔凈實驗室氣流和凈化系統以及管控項目

一、潔凈實驗室氣流和凈化系統介紹

1、實驗室凈化系統描述:

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→ 回風百葉窗→初效凈化….(重復以上過程)

2、潔凈實驗室的氣流形式:

(1)單向流潔凈區(水平、垂直流向);

(2)非單向流潔凈區;

(3)混合流潔凈區;

(4)環形/隔離裝置。

混合流潔凈區是ISO國際標準提出的,即把實際早已存在的非單向流潔凈室設置了局部的單向流的潔凈工作臺/層流罩對關鍵部位進行“點”或“線”的保護,以減少單向流潔凈區的面積。

二、潔凈實驗室凈化工程項目的主要控管項目

1、除去空氣中漂游之微塵粒子;

2、防止微塵粒子之產生;

3、控制溫度和濕度;

4、調節氣體壓力;

5、排除有害氣體;

6、確保結構物與隔間氣密性;

7、防止靜電;

8、預防電磁干擾;

9、安全因素;

10、考慮節能。


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